洁净室局部出现气流死角和微粒超标应如何排查整改？

洁净室局部气流死角与微粒超标属于典型的暖通空调（HVAC）系统故障，需依据 GB 50073《洁净厂房设计规范》与 ISO 14644 标准进行系统化排查与整改。

1. 故障排查与定位：首先使用气溶胶光度计对 HEPA 过滤器进行检漏，排除过滤器破损或边框泄漏。其次，依据 GB 50591 规范采用发烟法（使用发烟器或干冰）进行气流流型测试（Smoke Study），直观观察气流轨迹，精准定位涡流和死角区域。同时，检查回风口初效滤网是否堵塞，并确认室内压差梯度是否失衡。

2. 物理遮挡整改：气流死角多由大型设备或管线遮挡引起。需优化设备布局，确保设备边缘与墙面或回风口的距离大于 0.5m；对于无法移动的大型设备，应在设备顶部加装导流罩，引导气流平滑绕过障碍物，减少湍流。

3. 系统风量平衡：若因回风不畅导致死角，需彻底清理回风夹道或回风管内的积尘，重新调节回风阀开度，确保各区域回风量符合设计比例，通常回风量应控制在送风量的 80%-90% 之间，以维持稳定的气流组织。

4. 增设局部净化：若受限于建筑物理条件无法彻底消除死角，可在微粒超标区域上方增设 FFU（风机过滤单元）或层流罩，建立局部微环境，确保关键工艺点严格满足相应的 ISO 洁净度级别要求。